时间：2022-11-05 编辑：计量检测网
光干涉法测量校准检测仪器特点
(1)非接触测量，无损于被测表面。
(2)适应测量超精细加工的表面，测量范围为0.1um——1. OpLm 。
(3)测量的主要参数为Rz和Ry 。
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本文由仪器检定校准中心推出。
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