此评价技术应用一个经过校准的母件来评价仪器,测量规划及外界仪器校验因素等不确定度来源。事实上,此方法应用标准件为尺寸标准,把测量机降低为一个比较器,重复测量标准件及工件。这就需要标准件和工件在测量中具有类似的条件,包括用于实际测量的工作或标准的尺寸和形状与用于不确定度评估中已校准工件和标准的尺寸和形状类似,不确定度评估测试程序和实际测量类似,不确定度评估中的环境条件和实际测量环境条件类似(包括各种变化)。从捕捉合适的不确定度来源和相互作用及减少某些误差源等方面来看,计量校准将坐标测量机作为比较器的代用方法是一个功能强大的方法。