继机械测量工具之后出现的一批光学测量工具。世纪末,首先出现立式测长仪;世纪初,出现测长机;年代,已经在机械制造中应用投影仪、工具显微镜、光学测微仪等进行测量;年出现气动量仪,一种适合在大批量生产中使用的测量工具。电学测量工具是年代出现的初的利用电感式长度传感器制成的界限量规和轮廓 仪;年代后期,出现了以数字显示测量结果的坐标测量机;年代中期,机械制造中已应用带有电子计算机辅助测量的坐标测量机;至年代初,又出现 计算机数字控制的齿轮量仪。至此,测量工具进入应用电子计算机的阶段。
主要有直线度 和平面度测量工具,如直尺、平尺、平晶水平仪、自准直仪等;表面粗糙度测量工具,如表面粗糙度样块、光切显微镜、干涉显微镜和表面粗糙度测量仪等;圆度和 圆柱度测量工具,如圆度仪、圆柱度测量仪等;齿轮测量工具,常见的有齿轮综合检查仪、渐开线测量仪、周节测量仪、导程仪等;螺纹测量工具等。专用测量工具是指仅适用于测量某特定工件的尺寸、表面粗糙度、形状和位置误差等的测量工具。常见的有自动检验机、自动分选机、单尺寸和多尺寸检验装置通过混频器和本地振荡器(将输入信号转换到中频。调节本振频率,计量校准把整个输入频率范围转换到一个固定的中频。然后可用一个固定中心频率的中频滤波器来得到分析仪的分辨率。被转换的信号在进入中频滤波器前被放大,该滤波器决定了分辨率带宽。这个中频滤波器有一个固定的中频,因此避免了可调滤波器的相关的难题。现代频谱分析仪使用快速数字信号处理,输入信号通过/转换器在一个合适的点上采样,使用数字信号处理器进行进一步的处理。