计量检测采用激光干涉仪器校准是,将激光干涉仪、干涉镜、反射镜图所示按照。外校计量调整尾座上的反射镜与双频激光干涉仪在同一直线上,尾座在测长测量范围内移动时,激光干涉仪应能不中断显示读数。
将尾座移至分米刻度尺的零刻度线处,微动测量座照准零位双刻线。将空气温度、被校准仪器温度、气压、湿度等参数输入激光干涉仪系统中,数显清零移动尾座至1dm处(即100mm处),再次仪器校正微动测量座对准1 dm的双刻线,
此时由激光干涉仪读出ldm处的读数值a按此方法依次对200mm、300mm、……等各受校准位置进行测量,分别得到各校准点的读数值吼。尾管移至末端后返回零位,回零误差应小于(1+L/2000) um,L为校准点标称值位mm。在测量校准过程中测量座应不少于2次瞄准,取2次读数的平均值为读数值。