时间：2022-11-10 编辑：计量检测网
平面等厚干涉仪
平面等厚干涉仪是采用等厚光波干涉原理，用于测量物体表面平面度的光学精密计量仪器。外校计量校正该仪器可应用于光学车间、实验室、计量室。按其结构分为两种：用钠光作为光源、不带标准平面平晶的平面等厚干涉仪.用激光作光源、带标准平面平晶的激光平面干涉仪.
校验仪器光路系统
照明系统由钠单色光源3发出单色光，通过光阑2射入仪器内半透反光镜校准仪器校正1 1中反射至反射镜4再反射至反射镜1再到准直物镜5上，光阑2位于物镜5的焦面上，经过物镜5的光束为平行光束。光线经物镜5投射在被检平晶6和标准平晶8上，光线经平晶6和8的工作面反射回来形成相干光束。
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