线纹尺的仪器检测方法
线纹尺的仪器检定方法可分为绝对法和相对法。
绝对法:是用波长作为标准直接测量线纹尺两刻线间的距离。
相对法:是以一个作为标准的线纹尺和被检尺进行比较。
绝对法仪器检测可采用激光干涉比长仪或光电光波比长仪。
相对法仪器检定一般在光学式比长仪上进行。
线纹尺计量检定的方式可分为并联纵动式。
线纹尺计量检测的方式可分为并联纵动式、并联横动式和串联纵动式。
计量仪器检定的方式是工作台作纵向运动:
优点是并排放置,仪器尺寸及占地面积小可连续比较两尺的任意间隔。
缺点是不符合阿贝原则,测量误差较大,因而只适用于中、低准确度线纹尺的检定。
并联横动式比较检定的方式是工作台作横向运动:
优点是横向移动的范围可很小,仪器结构尺寸小,符合阿贝原则测量误差较小。
缺点是只能比较两尺的固定长度,不能进行两尺连续间隔的比较。
并联纵动式比较检定的方式是工作台作纵向运动。
优点是符合阿贝原则’测量误差较小,可连续比较被检尺与标准尺的任意间隔。
缺点是两尺串联放置,使仪器结构尺寸较大,温度不易平衡,要防止两线纹尺的相对位置在测量过程中产生变化'以及显微镜之间距离的变化。
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