时间：2022-10-13 编辑：计量检测网
计量检测对于准确度等级为一级的仪器应检定此项目，其他等级的可不作检定。a)采用超精密微动台以具有纳米分辨力的传感器作为标准仪器采用比较法进行检定。超精密微动台的示值误差不大于o．006Vm；示值变动性不大于i ：．004产m；灵敏阈不大于o．OOlpm。
仪器校验检定时，滤波器旋钮置全通挡，测杆长度开关置标准短测杆位置。圆度仪或圆柱变仪的传感器测头与超精密微动台的工作面接触时。
使被检仪器的传感器指示值位于零附近，操作时逐挡增加放大倍数直到最高放大数挡。在超精密微动台上被检仪器的传感器与标准仪器的传感器应布置在同一测量轴线上。最小位移量2nm左右，仪器校准用超精密微动台驱动器驱动工作台，产生位移运动，给出观察被检仪器传感器指示值。传感器指示值应有相应的变化值。
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