智能型氦质谱检漏仪校准规程

校准周期：首次准入校准合格后，根据其具体过程控制需要进行不定期的内校或委托生产厂家校准。

智能型氦质谱检漏仪校准规程

1. 范围  本规范适用于我公司使用中及修理后的ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦质谱检漏仪的校准。（法国阿尔卡特的ASM182T型氦质谱检漏仪可参照本规范校准）。

2. 概述  氦质谱检漏仪主要包括参考漏孔、节流阀、质谱室、抽气机组（真空部分）、质谱分析器电源、报警器、信号显示（电器部分）。由吸枪或喷枪将通过漏孔漏出的氦气引入质谱室，经过质谱分析，漏气信号的大小由输出指示显示出来，通过校准可计算出漏率值的大小。经过漏孔标定过的检漏仪，即可用来检查产品和器件的微小漏隙。

 3. 引用文件  Q/20192316-X-61-2001     成都仪器厂企业标准 ZLS-26D/T  氦质谱检漏仪说明书 ASM182T  质保保证计量仪器的有效使用，确保产品实现过程的质量。

 二、适用范围：本公司所有温湿度计。

计量检测校准依据：

1.  CSB/QP-13《检测设备管理程序》

2.  JJG205-2005《机械式温湿度计检定规程》

3.  GB/T11605-2005《湿度测量方法》

4.  GB6999-1986《环境试验用相对湿度查算表》

5.  JJF1059-1999《测量不确定度评定与表示》

四、 职责：

1. 品保部计量管理人员负责计量仪器的校准工作。

2. 相关使用部门配合计量管理人员进行校准工作。

五、 校准方法：

1.校准项目及要求：    序号        项目 指标要求

1 外观 符合要求

2 温度示值误差              ±2℃ 3 相对湿度示值误差     ±5% RH

4 温度重复性                ≤0.5℃

5  湿度重复性                 ±2%RH    2.校准条件与设备：

2.1 校准条件  环境温度：15——25℃范围内，温度波动不超过±3℃/6h；湿度：不大于75%RH；

2.2 已外校温湿度计一个。

3.校准过程：

3.1外观：采用目视观测。

3.1.1外形结构完好，表面无划痕和锈蚀，无影响计量性能的缺陷。

3.1.2标志：有制造厂名，型号规格，许可证编号等。

温湿度计校准指导书

3.1.3读数部分：

①指针式温湿度计：

a. 刻度板正确而不倾斜，刻度线清晰均匀。

b. 湿度刻度范围不小于30——95%RH，最小刻度不小于2%RH。

c. 温度刻度应不小于5——40℃，最小刻度应不小于1℃。

d. 指针应平直，灵活转动，自由复位。

②数显温湿度计：

e. 面板显示清晰无异常，数值显示位置无异常；

f. 各按键功能正常；

g. 湿度档位范围不小于30——95%RH，最小刻度不小于2%RH；

h. 温度档位应不小于5——40℃，最小刻度应不小于1℃；

i. 数字变化反应时间：  湿度：45%RH→95%RH≤3min，95%RH→45%RH≤5min； 温度：1℃/2sec。