在20世纪80年代后期,栅距为10μm的透射光栅LID351(分辨率为0.05μm),其间隙要求就比较严格(0.1±0.015)mm。由于采用了新的干涉测量原理,对纳米级的衍射光栅安装公差就放得比较宽,例如指示光栅和标尺光栅之间的间隙和平行度都很宽(见表1)。
表1 指示光栅和标尺光栅之间的间隙和平行度 光栅型号——信号周期(μm)——分辨率(nm)——间隙(mm)——平行度(mm) LIP372——0.218——1——0.3——±0.02 LIP471——2——5——0.6——±0.02 LIP571——4——50——0.5——±0.06 只有衍射光栅LIP372的栅距是0.512μm,经光学倍频后,信号周期为0.128μm,其它栅距均为8μm和4μm,经光学二倍频后得到的信号周期为4μm和2μm,其分辨率为5nm和50nm,计量校准系统准确度为±0.5μm和±1μm,速度为30m/min。
LIF系列栅距是8μm,分辨率0.1μm,准确度±1μm,速度为72m/min。其载体为温度系数近于零的玻璃陶瓷或温度系数为8ppm/K的玻璃。衍射光栅LF系列是闭式光栅尺,其栅距为8μm,信号周期为4μm,测量分辨率0.1μm,系统准确度±3μm和±2μm,最大速度60m/min,测量长度达3m,载体采用钢尺和钢膨胀系数(10ppm/K)一样的玻璃。
光栅测量系统的几个关键问题 测量准确度(精度) 光栅线位移传感器的测量准确度,首先取决于标尺光栅刻线划分度的质量和指示光栅扫描的质量(栅线边沿清晰至关重要),其次才是信号处理电路的质量和指示光栅沿标尺光栅导向的误差。