4 概述 四极杆电感耦合等离子体质谱仪的工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中,在高温下电离成离子,产生的离子经过离子光学透镜聚焦后进入四极杆质量分析器按照荷质比分离,既可以按照荷质比进行定性分析,也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。该类型质谱仪主要由离子源、仪器校准质量分析器和检测器三部分组成。还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。
4.1离子源 离子源是将引入炬管中的中性原子或分子,通过等离子体的高温转换成离子。
4.2 四极杆质量分析器 四极杆质量分析器由四根金属或表面镀有金属的极棒构成。当具有一定能量的离子束通过质量分析器后,在电场的作用下按质荷比的大小进行分离。
4.3 离子检测器 离子检测器用于收集和放大经质量分析器分离后的离子信号。
4.4 计算机系统 由计算机和相应的软件组成,对质谱仪进行操作、各种仪器参数调节和控制、以及测量数据处理等。
4.5 真空系统 真空系统由机械泵、涡轮分子泵、各种性能良好的密封阀及真空管道等组成。
4.6 供电系统 供电系统为质谱仪提供稳压、稳流电源和四极杆直流、高频交流电源及等离子体射频电源,并对仪器具有良好的自动控制和保护功能。
5 计量特性 表1规定了四极杆电感耦合等离子体质谱仪的各项主要技术指标,供校准时参考。