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仪器校验检测仪器一般都是定量检测仪器，其精度应有所保证，因此需定期按有关规定进行检查，校正。同样，在仪器经过维修后，也应经检定合格后方可重新使用。此外，仪器维护还有其它许多特殊内容，如用有机玻璃制成的元件，应避免触及有机溶剂；气相色谱仪在使用时需避开易燃气体，且其氢气源应远离火源等。通常这些内容在仪器的使用说明书中有详细的交待，负责维护工作的人员应仔细阅读使用说明书中的有关内容，以进行正确的维护。
GC-FID检测技术对大部分VOCs成分均有响应，并且是等碳响应，适合用于VOCs总量监测，也可通过更换色谱柱材料等方式实现特征成分的检测。
FTIR检测技术因其光谱范围宽，可同时检测多种VOCs特征成分含量，响应速度快。
PID检测器对低碳饱和烃响应较弱，且响应因子不一致，检测器表面易受污染，不适合用于污染源VOCs在线监测。
依据美国标准“Method25A”和欧洲标准“EN 12619”的技术要求，规定固定污染源VOCs在线监测应采用GC-FID检测技术，采样探头、样品输送管路和分析仪中样品管路应采用120℃以上高温伴热，应选用抗腐蚀和惰性化的材料，以减少样品吸附。
特殊性维护工作 这部分内容主要是针对检验仪器所具有的特点而言的，由于每种检验仪器有其各自的特点，这里只介绍一些典型的有代表性的几个方面。
⑴光电转换元件，如光电源、光电管、光电倍增管等在存放和工作时均应避光，因为它们受强光照射易老化，使用寿命缩短，灵敏度降低，情况严重时甚至会损坏这些元件。
⑵检验仪器在使用及存放过程中应防止受污染。如有酸碱的环境将会影响酸度计的测量结果；做多样品测量时，试样容器每次使用后均应立即冲洗干净。另外，杂散磁场对电流的影响也是一种广义的污染。
